شاید اسم روسیه در توسعه فناوریهای روز در مقیاس عمومی و مصرفکننده خیلی برجسته نباشد اما آنطور که پیداست، شرایط رو به تغییر خواهد بود. گزارش جدیدی به ما درباره تلاش روسیه برای ساخت دستگاه های تولید تراشه و رقابت با ASML هلندی اطلاعات جالبی میدهد.
دستگاه های تولید تراشه ساخت روسیه
روسیه در حال آماده شدن برای ساخت دستگاه لیتوگرافی فرابنفش شدید یا EUV اختصاصی خود است. البته این دستگاه با استفاده از فناوری طول موج 11.2 نانومتر به جای 13.5 نانومتر رایجتر که توسط سیستمهای ASML استفاده میشود، مسیر متفاوتی را در پیش گرفته است.
نیکولای چکالو از مؤسسه فیزیک ریزساختار آکادمی علوم روسیه رهبری این کار را بر عهده دارد و امیدوار است که تجهیزات لیتوگرافی ارزانتر و پیچیدهتر بسازد.
این دستگاههای جدید EUV روسی از لیزرهایی با انرژی زنون استفاده میکنند و از رویکرد مبتنی بر قلع ASML پیروی نمیکنند. مدیر این برنامه ادعا میکند که طول موج 11.2 نانومتری باعث افزایش 20 درصدی وضوح میشود و میتواند طراحی اپتیک را آسانتر کند که در عین حال هزینههای ساخت را کاهش م دهد.
بعلاوه، هدف آنها کاهش آلودگی در عناصر اپتیکی است، که باید به قطعات کلیدی مانند کلکتورها و گلولههای محافظ کمک کند تا بیشتر دوام بیاورند.
این طرح ۳ مرحله دارد که به صورت زیر اعلام شده است:
با تحقیق شروع کنید: فن آوری ضروری را کسب کرده و اجزا را آزمایش کنید.
ساخت نمونه اولیه: ماشینی که می تواند 60 ویفر 200 میلی متری را در هر ساعت تولید کند.
توسعه دهید: یک سیستم آماده تولید که توان تولید 60 ویفر 300 میلی متری در هر ساعت را دارد.
گفته می شود، این دستگاه به سرعت دستگاههای ASML نخواهند بود. آنها با استفاده از یک منبع نوری 3.6 کیلوواتی با حدود 37 درصد توان ASML کار خواهند کرد. اگرچه این برای تولید در حجم بالا عالی نیست، اما برای تولید در مقیاس کوچکتر به اندازه کافی خوب به نظر میرسد.
تغییر به طول موج 11.2 نانومتر به این معنی است که آنها باید یک اکوسیستم کاملاً جدید ایجاد کنند. حتی ابزارهای نرم افزاری طراحی تراشه نیز نیاز به بازنگری سنگین دارند، به ویژه برای آماده سازی داده های ماسک و اصلاحات نوری.
روسها هنوز جدول زمانی برای این مراحل توسعه تعیین نکردهاند، اما کارشناسان فکر میکنند ساخت یک اکوسیستم لیتوگرافی کامل می تواند ده سال یا بیشتر طول بکشد. آنها همچنین نشان ندادهاند که این ابزارهای جدید توان تولید تراشههای چند نانومتری را دارند.
نظر شما چیست؟ فکر میکنید انحصار تولید دستگاههای ساخت تراشه از دست امریکا و متحدانش بیرون خواهد آمد؟
بفرست برای دوستات
source